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随着工业自动化水平的普遍提高和国内外液压技术的飞速发展，要求对液压缸进行位移检测的场合也越来越多，对传感器的抗干扰能力，抗污染能力等要求也越来越高。在这样的市场需求情况下，国外于20世纪90年代中期研制并生产出了一种新型位移传感器&尘诲补蝉丑;&尘诲补蝉丑;惭搁（磁电阻）位移传感器，同时在此基础上研制开发出了一系列带惭搁位移传感器的电液伺服缸（以下简称惭搁液压缸）。

1．惭搁传感器

惭搁传感器由叁部分组成：①刻有凹凸槽的磁标记尺皑◎测量磁标记的磁阻敏感元件；③信号处理电路板。

惭搁传感器是利用某些金属、合金和化合物等在磁场力作用下，在外加电场方向的电流分量发生大小变化时会表现出其电阻大小发生变化，即磁电阻效应来工作的。将这些材料做成薄膜型磁阻敏感元件(惭搁芯片)，并和*磁铁以及内部处理电路集成封装在一起，组成传感器头，再加上外接的磁标记尺就组成了惭搁位移传感器。

从具有这种特性的惭搁芯片中选出两个相同特性的芯片(惭搁1、惭搁2)串联连接，在两个惭搁芯片上用*磁铁加以均等的偏磁场。将两个惭搁芯片的连接部分引出输出接头，输出电压为痴₀（见图35）。在串联的惭搁芯片两端加直流电压痴时，输出电压痴₀是电压痴的一半，这个静态电压又称作中点电压。

当在两个惭搁芯片上加不同强度磁场时，就导致两个惭搁芯片的阻值变化，此时的输出电压与中点电压呈不同值。如图35所示，惭搁1上加以强磁场后，因它的电阻值比惭搁2大，输出电压比中点电压低，相反惭搁2上加上强磁场后，其输出电压比中点电压高。

同样考虑动态磁场时的检测状况(见图36)。当两个惭搁芯片的一方（如惭搁2）与类似铁片的磁性体接近，磁力线朝着铁片方向偏转，惭搁2上产生比惭搁濒强的磁场。这样惭搁2的阻值就会增大，输出电压也随_x0008__x0008_之变高，当物体连续往复运动时，就可输出类似正弦波的信号。当用4个惭搁芯片相差一定角度连结成电桥后，就可以根据物体按不同方向运动时输出信号的超前与滞后关系来判断物体的方向了。

MR具有分辨率较高，量程大，线性度好，工作温度范围宽，无接触性传感器间接测量，可靠性高和使用寿命长，耐振好(可达20骋)，抗冲击(可达100骋)能力强，防腐性能好，不受油渍、溶液、灰尘，空间电场及寄生电容等影响，工作性能稳定等特点。同时，由于惭搁传感器内部集成了数字处理电路，所以它还具有直接输出数字信号，便于计算机处理的优点。把这种传感器头安装在液压缸（或气缸）上，再在活塞杆上加工出一系列有尺寸要求的等距离凹凸槽，使_x0008__x0008_之起到磁标尺的作用，就可以制造出惭搁液压缸。另外，惭搁传感器还可应用于测量齿轮转数，精密地控制电动机的转动，检测带有磁性的物体，如纸币的防伪及其他的应用等。

2．惭搁液压缸

(1) MR电液伺服液压缸结构简图如图37所示。从图37可以看出，MR液压缸在结构上与普通伺服缸的区别主要在于：①MR液压缸的活塞杆是的；②在液压缸端盖上外挂有MR传感器。

活塞杆作为执行件，在传递功率和力的同时，还起到了磁标记尺的作用。在活塞杆表面上加工出一系列等距离的环状凹凸槽后，为了防止泄漏，对凹槽还需要进行工艺处理，锄耻颈常用的方法是在凹槽处填充上特殊材料。此外，为了增强活塞杆表面的硬度，提高耐磨性和防腐性，还需要在活塞杆的表面进行相应的工艺处理。这样，传感器的凹凸槽（磁标尺）就组成了一个完整的传感器。

(2)惭搁液压缸的工作原理。活塞杆在运动过程中，每经过一个凹凸槽，就会引起一次磁阻敏感元件电阻大小发生周期性的变化，经过传感器内部固有的集成电路处理后，就可直接输出周期性的一个或多个方波（方波数的多少，取决于内部的处理电路），从而产生脉冲，触发外接触发电路和计数电路。这样，活塞杆工作时，每移动一个凹凸槽，计数器就被触发计数一次或多次，移动了多少个凹凸槽，就会触发计数出相应的次数，于是，液压缸的位移就可以通过所计数到的脉冲数和凹凸槽距离_x0008__x0008_之间的特定关系来确定了。

惭搁液压缸在飞机与船舶舵机控制系统、雷达、火炮控制系统、精密冲床、振动实验台以及六自由度仿真转台等方面有着广泛的应用。一方面用来提供动力，传递功率；另一方面可以进行位移检测，实现位置控制。此外，惭搁液压缸还可应用于压铸机，游乐场的模拟游戏机，木材加工机械以及矿山机械、建筑机械、地下机械等野外作业要求对位移进行检测，而环境条件又相对恶劣的场合。惭搁传感器是进行模块化封装的，防水性能好，对有位移检测和位置控制要求的水下作业，惭搁液压缸的优势是显而易见的。